發(fā)布時(shí)間：2019-08-24 | 游覽：15990
| 產(chǎn)品名稱(chēng) | 氣體純度 | 氣瓶規(guī)格 | 閥門(mén) | 充裝量（Kg） | 保質(zhì)期 |
| CF4 | 99.999% | DOT47L | CGA580/CGA320/DISS716 | 32 | 2年 |
| DOT440L | DISS716 | 300 | 2年 | ||
| 備注：可按客戶(hù)要求定制包裝規(guī)格 | |||||
四氟化碳是一種無(wú)色、無(wú)臭、不燃的可壓縮惰性氣體。它是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。 在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
電子級(jí)四氟化碳技術(shù)指標(biāo)：
包裝容器：規(guī)格齊全，按客戶(hù)要求配置。
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