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VMP閥門分配箱的設(shè)計與應(yīng)用

發(fā)布時間:2023-01-18 | 游覽:4914

內(nèi)容摘要:閥門分配箱(VMB)通常用于輸送特殊氣體。

閥門分配箱(VMB)通常用于輸送特殊氣體。在半導(dǎo)體、光伏太陽能、 IC芯片的生產(chǎn)領(lǐng)域中,VMB廣泛用于磷化氫、硼烷、硅烷、硫化氫、硫化氫、易燃易爆的、有毒氣體等應(yīng)用中。近年來,智研數(shù)據(jù)研究中心隨著中國VLSI、平板顯示器、光伏發(fā)電等行業(yè)的快速發(fā)展,對電子燃氣市場的需求明顯增加,電子特種氣體的本地化已成為趨勢時代。

據(jù)了解,中國在本地化方面取得了可喜的進展:國內(nèi)高純度氨氣改變了外國天然氣公司的壟斷市場,高純度四氟化碳“寶貴而無貨”的時代也結(jié)束了。高純度氯化氫已在中國成功開放。市場。因此,閥門分配系統(tǒng)的應(yīng)用將越來越廣泛。

特殊氣體VMB應(yīng)設(shè)計有進氣管隔離閥和壓力指示裝置;氣路應(yīng)配備一個獨立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過濾器、過流開關(guān);氣體分支應(yīng)設(shè)有獨立的出口隔離閥;管道上應(yīng)配備單獨的吹掃氣設(shè)備、輔助真空設(shè)備等。

對于惰性氣體,應(yīng)提供進氣管路隔離閥和壓力指示裝置;氣路應(yīng)配備獨立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過濾器;氣體分歧應(yīng)配備獨立的出口隔離閥。

電子氣體,特別是危險的特殊氣體,是集成電路、光電、微電子學(xué),尤其是VLSI、液晶顯示設(shè)備、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料的制造工藝中必不可少的基本支撐材料,這種材料被稱為電子工業(yè)的“血液”和“食品”,其純度和清潔度直接影響著光電產(chǎn)品的質(zhì)量。、微電子元件的質(zhì)量、集成度、的具體技術(shù)指標和良率,從根本上限制了電路和器件的準確性和準確性。 VMB的引入是一對多,點對點分支的核心單元。不僅保證了多點用氣,而且確保了用氣的安全。

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